ÄúÏÖÔÚµÄλÖãºÖйúũҵÒÇÆ÷Íø > ÐÐÒµ¶¯Ì¬ >δÀ´Ê®ÄêÒÇÆ÷ÒDZíʵÏÖÈý´óÕ½ÂÔÄ¿±ê
δÀ´Ê®ÄêÒÇÆ÷ÒDZíʵÏÖÈý´óÕ½ÂÔÄ¿±ê
À´Ô´£º ¡¡Àà±ð£ºÐÐÒµ¶¯Ì¬ ¡¡¸üÐÂʱ¼ä£º2010-10-15¡¡ ÔĶÁ´Î
ÏÖ×´ÓëÎÊÌâ
ÎÒ¹ú´«¸ÐÆ÷ºÍÒÇÆ÷ÒDZíµÄ¼¼ÊõºÍ²úÆ·£¬¾¹ý·¢Õ¹£¬ÓÐÁ˽ϴóµÄÌá¸ß¡£È«¹úÒѾÓÐ1600¶à¼ÒÆóÊÂÒµµ¥Î»´ÓÊ´«¸ÐÆ÷ºÍÒDZíÔªÆ÷¼þµÄÑÐÖÆ¡¢¿ª·¢¡¢Éú²ú¡£µ«Óë¹úÍâÏà±È£¬ÎÒ¹ú´«¸ÐÆ÷ºÍÒDZíÔªÆ÷¼þµÄ²úÆ·Æ·ÖÖºÍÖÊÁ¿Ë®Æ½£¬Éв»ÄÜÂú×ã¹úÄÚÊг¡µÄÐèÇó£¬×ÜÌåˮƽ»¹´¦ÓÚ¹úÍâÉÏÊÀ¼Í90Äê´ú³õÆÚµÄˮƽ¡£´æÔÚµÄÖ÷ÒªÎÊÌâÓУº
(1)¿Æ¼¼´´Ð²ºËÐÄÖÆÔì¼¼ÊõÑÏÖØÖͺóÓÚ¹úÍ⣬ӵÓÐ×ÔÖ÷֪ʶ²úȨµÄ²úÆ·ÉÙ£¬Æ·ÖÖ²»È«£¬²úÆ·¼¼ÊõˮƽÓë¹úÍâÏà²î15Äê×óÓÒ¡£
(2)Ͷ×ÊÇ¿¶ÈÆ«µÍ£¬¿ÆÑÐÉ豸ºÍÉú²ú¹¤ÒÕ×°±¸Âäºó£¬³É¹ûˮƽµÍ£¬²úÆ·ÖÊÁ¿²î¡£
(3)¿Æ¼¼ÓëÉú²úÍѽڣ¬Ó°Ïì¿ÆÑгɹûµÄת»¯£¬×ÛºÏʵÁ¦½ÏµÍ£¬²úÒµ·¢Õ¹ºó¾¢²»×ã¡£
Õ½ÂÔÄ¿±ê
µ½2020Ä꣬´«¸ÐÆ÷¼°ÒDZíÔª¼þÁìÓòÓ¦ÕùȡʵÏÖÈý´óÕ½ÂÔÄ¿±ê£º
ÒÔ¹¤Òµ¿ØÖÆ¡¢Æû³µ¡¢Í¨Ñ¶¡¢»·±£ÎªÖصã·þÎñÁìÓò£¬ÒÔ´«¸ÐÆ÷¡¢µ¯ÐÔÔª¼þ¡¢¹âѧԪ¼þ¡¢×¨ÓõçÂ·ÎªÖØµã¶ÔÏ󣬷¢Õ¹¾ßÓÐ×ÔÖ÷֪ʶ²úȨµÄÔ´´ÐÔ¼¼ÊõºÍ²úÆ·;
ÒÔMEMS¹¤ÒÕΪ»ù´¡£¬ÒÔ¼¯³É»¯¡¢ÖÇÄÜ»¯ºÍÍøÂ绯¼¼ÊõΪÒÀÍУ¬¼ÓÇ¿ÖÆÔ칤ÒÕºÍÐÂÐÍ´«¸ÐÆ÷ºÍÒDZíÔªÆ÷¼þµÄ¿ª·¢£¬Ê¹Ö÷µ¼²úÆ·´ïµ½ºÍ½Ó½ü¹úÍâͬÀà²úÆ·µÄÏȽøË®Æ½;
ÒÔÔö¼ÓÆ·ÖÖ¡¢Ìá¸ßÖÊÁ¿ºÍ¾¼ÃÐ§ÒæÎªÖ÷ҪĿ±ê£¬¼ÓËÙ²úÒµ»¯£¬Ê¹¹ú²ú´«¸ÐÆ÷ºÍÒDZíÔªÆ÷¼þµÄÆ·ÖÖÕ¼ÓÐÂÊ´ïµ½70%~80%£¬¸ßµµ²úÆ·´ï60%ÒÔÉÏ¡£
·¢Õ¹Öصã
´«¸ÐÆ÷¼¼Êõ
(1)MEMS¹¤ÒÕºÍÐÂÒ»´ú¹Ì̬´«¸ÐÆ÷΢½á¹¹ÖÆÔ칤ÒÕ£ºÉî·´Ó¦Àë×Ó¿ÌÊ´(DRIE)¹¤ÒÕ»òIGP¹¤ÒÕ;·â×°¹¤ÒÕ£ºÈ糣μüºÏµ¹×°º¸½Ó¡¢ÎÞÓ¦Á¦Î¢±¡½á¹¹·â×°¡¢¶àоƬ×é×°¹¤ÒÕ;ÐÂÐÍ´«¸ÐÆ÷£ºÈçÓÃ΢¹èµçÈÝ´«¸ÐÆ÷¡¢Î¢¹èÖÊÁ¿Á÷Á¿´«¸ÐÆ÷¡¢º½¿Õº½ÌìÓö¯Ì¬´«¸ÐÆ÷¡¢Î¢´«¸ÐÆ÷£¬Æû³µ×¨ÓÃѹÁ¦¡¢¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷£¬»·±£ÓÃ΢»¯Ñ§´«¸ÐÆ÷µÈ¡£
(2)¼¯³É¹¤ÒպͶà±äÁ¿¸´ºÏ´«¸ÐÆ÷΢½á¹¹¼¯³ÉÖÆÔ칤ÒÕ;¹¤Òµ¿ØÖÆÓöà±äÁ¿¸´ºÏ´«¸ÐÆ÷£¬È磺ѹÁ¦¡¢¾²Ñ¹¡¢Î¶ÈÈý±äÁ¿´«¸ÐÆ÷£¬ÆøÑ¹¡¢·çÁ¦¡¢Î¶ȡ¢Êª¶ÈËıäÁ¿´«¸ÐÆ÷£¬Î¢¹è¸´ºÏÓ¦±äѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬³ÂÁд«¸ÐÆ÷¡£
(3)ÖÇÄÜ»¯¼¼ÊõÓëÖÇÄÜ´«¸ÐÆ÷ÐźÅÓÐÏß»òÎÞÏß̽²â¡¢±ä»»´¦Àí¡¢Âß¼Åжϡ¢¹¦ÄܼÆË㡢˫ÏòͨѶ¡¢×ÔÕï¶ÏµÈÖÇÄÜ»¯¼¼Êõ;ÖÇÄܶà±äÁ¿´«¸ÐÆ÷£¬ÖÇÄܵçÁ¿´«¸ÐÆ÷ºÍ¸÷ÖÖÖÇÄÜ´«¸ÐÆ÷¡¢±äËÍÆ÷¡£
(4)ÍøÂ绯¼¼ÊõºÍÍøÂ绯´«¸ÐÆ÷¡¢´«¸ÐÆ÷ÍøÂ绯¼¼Êõ;ÍøÂ绯´«¸ÐÆ÷£¬Ê¹´«¸ÐÆ÷¾ßÓй¤Òµ»¯±ê×¼½Ó¿ÚºÍÐÒ鹦ÄÜ¡£
ÒDZíÔªÆ÷¼þ
(1)µ¯ÐÔÔª¼þ¿ª·¢ºÍÍêÉÆÐÂÐͳÉÐ͹¤ÒÕ£ºµç³Á»ý³ÉÐ͹¤ÒÕ£¬º¸½Ó³ÉÐ͹¤ÒÕ;ÖØµã¿ª·¢º½¿Õ¡¢º½ÌìÓõĵ͸նȡ¢´óÎ»ÒÆ¡¢³¤ÊÙÃüµÄ΢СÐ;«Ãܲ¨Îƹܣ¬¸ßθßѹ·§Óò¨ÎƹÜ;ÑÐÖÆ²¨ÎƹܸßЧ³ÉÐ͹¤ÒÕÉ豸ºÍÐÔÄܼì²âÒÇÆ÷¡£
2)¹âѧԪ¼þ¿ª·¢ÏȽø¹¤ÒÕ£º·ÇÇòÃæ¹âѧԪ¼þÉè¼Æ¡¢ÖÆÔì¼¼Êõ¡¢¹âѧ¶à²ã²âÉ䶯Ĥ¼¼ÊõºÍÐÂÐÍÀë×Ó¸¨Öú¶ÆÄ¤¼¼Êõ¡£
¿ª·¢¹âÏËͨѶºÍÊý×Ö³ÉÏñÓÃÐÂÐ͹âѧԪ¼þ£¬È磺΢ÐͱäÃܶÈÂË¹âÆ¬¡¢³¬Õ´øÂË¹âÆ¬£¬Î¢Í¸¾µÕóÁС¢´óÃæ»ýÆ«ÕñÔª¼þ¡¢·ÇÇòÃæ²£-ËÜ»ìºÏ͸¾µ¡£
(3)רÓõç·Ìá¸ßרÓõç·¼¯³É¶ÈºÍ¸öÐÔ»¯·þÎñµÄÉè¼Æ¼¼ÊõºÍÖÆÔ칤ÒÕ;
Ó¦ÓÃÈí¼þ¹Ì»¯¼¼Êõ£¬¿ª·¢ÊʺÏÖÇÄÜ»¯¡¢ÍøÂ绯´«¸ÐÆ÷ºÍÒDZíµÄÐźű任¡¢²¹³¥¡¢ÏßÐÔ»¯¡¢Í¨Ñ¶¡¢ÍøÂç½Ó¿ÚµÈרÓõç·¡£
ÎÒ¹ú´«¸ÐÆ÷ºÍÒÇÆ÷ÒDZíµÄ¼¼ÊõºÍ²úÆ·£¬¾¹ý·¢Õ¹£¬ÓÐÁ˽ϴóµÄÌá¸ß¡£È«¹úÒѾÓÐ1600¶à¼ÒÆóÊÂÒµµ¥Î»´ÓÊ´«¸ÐÆ÷ºÍÒDZíÔªÆ÷¼þµÄÑÐÖÆ¡¢¿ª·¢¡¢Éú²ú¡£µ«Óë¹úÍâÏà±È£¬ÎÒ¹ú´«¸ÐÆ÷ºÍÒDZíÔªÆ÷¼þµÄ²úÆ·Æ·ÖÖºÍÖÊÁ¿Ë®Æ½£¬Éв»ÄÜÂú×ã¹úÄÚÊг¡µÄÐèÇó£¬×ÜÌåˮƽ»¹´¦ÓÚ¹úÍâÉÏÊÀ¼Í90Äê´ú³õÆÚµÄˮƽ¡£´æÔÚµÄÖ÷ÒªÎÊÌâÓУº
(1)¿Æ¼¼´´Ð²ºËÐÄÖÆÔì¼¼ÊõÑÏÖØÖͺóÓÚ¹úÍ⣬ӵÓÐ×ÔÖ÷֪ʶ²úȨµÄ²úÆ·ÉÙ£¬Æ·ÖÖ²»È«£¬²úÆ·¼¼ÊõˮƽÓë¹úÍâÏà²î15Äê×óÓÒ¡£
(2)Ͷ×ÊÇ¿¶ÈÆ«µÍ£¬¿ÆÑÐÉ豸ºÍÉú²ú¹¤ÒÕ×°±¸Âäºó£¬³É¹ûˮƽµÍ£¬²úÆ·ÖÊÁ¿²î¡£
(3)¿Æ¼¼ÓëÉú²úÍѽڣ¬Ó°Ïì¿ÆÑгɹûµÄת»¯£¬×ÛºÏʵÁ¦½ÏµÍ£¬²úÒµ·¢Õ¹ºó¾¢²»×ã¡£
Õ½ÂÔÄ¿±ê
µ½2020Ä꣬´«¸ÐÆ÷¼°ÒDZíÔª¼þÁìÓòÓ¦ÕùȡʵÏÖÈý´óÕ½ÂÔÄ¿±ê£º
ÒÔ¹¤Òµ¿ØÖÆ¡¢Æû³µ¡¢Í¨Ñ¶¡¢»·±£ÎªÖصã·þÎñÁìÓò£¬ÒÔ´«¸ÐÆ÷¡¢µ¯ÐÔÔª¼þ¡¢¹âѧԪ¼þ¡¢×¨ÓõçÂ·ÎªÖØµã¶ÔÏ󣬷¢Õ¹¾ßÓÐ×ÔÖ÷֪ʶ²úȨµÄÔ´´ÐÔ¼¼ÊõºÍ²úÆ·;
ÒÔMEMS¹¤ÒÕΪ»ù´¡£¬ÒÔ¼¯³É»¯¡¢ÖÇÄÜ»¯ºÍÍøÂ绯¼¼ÊõΪÒÀÍУ¬¼ÓÇ¿ÖÆÔ칤ÒÕºÍÐÂÐÍ´«¸ÐÆ÷ºÍÒDZíÔªÆ÷¼þµÄ¿ª·¢£¬Ê¹Ö÷µ¼²úÆ·´ïµ½ºÍ½Ó½ü¹úÍâͬÀà²úÆ·µÄÏȽøË®Æ½;
ÒÔÔö¼ÓÆ·ÖÖ¡¢Ìá¸ßÖÊÁ¿ºÍ¾¼ÃÐ§ÒæÎªÖ÷ҪĿ±ê£¬¼ÓËÙ²úÒµ»¯£¬Ê¹¹ú²ú´«¸ÐÆ÷ºÍÒDZíÔªÆ÷¼þµÄÆ·ÖÖÕ¼ÓÐÂÊ´ïµ½70%~80%£¬¸ßµµ²úÆ·´ï60%ÒÔÉÏ¡£
·¢Õ¹Öصã
´«¸ÐÆ÷¼¼Êõ
(1)MEMS¹¤ÒÕºÍÐÂÒ»´ú¹Ì̬´«¸ÐÆ÷΢½á¹¹ÖÆÔ칤ÒÕ£ºÉî·´Ó¦Àë×Ó¿ÌÊ´(DRIE)¹¤ÒÕ»òIGP¹¤ÒÕ;·â×°¹¤ÒÕ£ºÈ糣μüºÏµ¹×°º¸½Ó¡¢ÎÞÓ¦Á¦Î¢±¡½á¹¹·â×°¡¢¶àоƬ×é×°¹¤ÒÕ;ÐÂÐÍ´«¸ÐÆ÷£ºÈçÓÃ΢¹èµçÈÝ´«¸ÐÆ÷¡¢Î¢¹èÖÊÁ¿Á÷Á¿´«¸ÐÆ÷¡¢º½¿Õº½ÌìÓö¯Ì¬´«¸ÐÆ÷¡¢Î¢´«¸ÐÆ÷£¬Æû³µ×¨ÓÃѹÁ¦¡¢¼ÓËÙ¶È´«¸ÐÆ÷£¬»·±£ÓÃ΢»¯Ñ§´«¸ÐÆ÷µÈ¡£
(2)¼¯³É¹¤ÒպͶà±äÁ¿¸´ºÏ´«¸ÐÆ÷΢½á¹¹¼¯³ÉÖÆÔ칤ÒÕ;¹¤Òµ¿ØÖÆÓöà±äÁ¿¸´ºÏ´«¸ÐÆ÷£¬È磺ѹÁ¦¡¢¾²Ñ¹¡¢Î¶ÈÈý±äÁ¿´«¸ÐÆ÷£¬ÆøÑ¹¡¢·çÁ¦¡¢Î¶ȡ¢Êª¶ÈËıäÁ¿´«¸ÐÆ÷£¬Î¢¹è¸´ºÏÓ¦±äѹÁ¦´«¸ÐÆ÷£¬³ÂÁд«¸ÐÆ÷¡£
(3)ÖÇÄÜ»¯¼¼ÊõÓëÖÇÄÜ´«¸ÐÆ÷ÐźÅÓÐÏß»òÎÞÏß̽²â¡¢±ä»»´¦Àí¡¢Âß¼Åжϡ¢¹¦ÄܼÆË㡢˫ÏòͨѶ¡¢×ÔÕï¶ÏµÈÖÇÄÜ»¯¼¼Êõ;ÖÇÄܶà±äÁ¿´«¸ÐÆ÷£¬ÖÇÄܵçÁ¿´«¸ÐÆ÷ºÍ¸÷ÖÖÖÇÄÜ´«¸ÐÆ÷¡¢±äËÍÆ÷¡£
(4)ÍøÂ绯¼¼ÊõºÍÍøÂ绯´«¸ÐÆ÷¡¢´«¸ÐÆ÷ÍøÂ绯¼¼Êõ;ÍøÂ绯´«¸ÐÆ÷£¬Ê¹´«¸ÐÆ÷¾ßÓй¤Òµ»¯±ê×¼½Ó¿ÚºÍÐÒ鹦ÄÜ¡£
ÒDZíÔªÆ÷¼þ
(1)µ¯ÐÔÔª¼þ¿ª·¢ºÍÍêÉÆÐÂÐͳÉÐ͹¤ÒÕ£ºµç³Á»ý³ÉÐ͹¤ÒÕ£¬º¸½Ó³ÉÐ͹¤ÒÕ;ÖØµã¿ª·¢º½¿Õ¡¢º½ÌìÓõĵ͸նȡ¢´óÎ»ÒÆ¡¢³¤ÊÙÃüµÄ΢СÐ;«Ãܲ¨Îƹܣ¬¸ßθßѹ·§Óò¨ÎƹÜ;ÑÐÖÆ²¨ÎƹܸßЧ³ÉÐ͹¤ÒÕÉ豸ºÍÐÔÄܼì²âÒÇÆ÷¡£
2)¹âѧԪ¼þ¿ª·¢ÏȽø¹¤ÒÕ£º·ÇÇòÃæ¹âѧԪ¼þÉè¼Æ¡¢ÖÆÔì¼¼Êõ¡¢¹âѧ¶à²ã²âÉ䶯Ĥ¼¼ÊõºÍÐÂÐÍÀë×Ó¸¨Öú¶ÆÄ¤¼¼Êõ¡£
¿ª·¢¹âÏËͨѶºÍÊý×Ö³ÉÏñÓÃÐÂÐ͹âѧԪ¼þ£¬È磺΢ÐͱäÃܶÈÂË¹âÆ¬¡¢³¬Õ´øÂË¹âÆ¬£¬Î¢Í¸¾µÕóÁС¢´óÃæ»ýÆ«ÕñÔª¼þ¡¢·ÇÇòÃæ²£-ËÜ»ìºÏ͸¾µ¡£
(3)רÓõç·Ìá¸ßרÓõç·¼¯³É¶ÈºÍ¸öÐÔ»¯·þÎñµÄÉè¼Æ¼¼ÊõºÍÖÆÔ칤ÒÕ;
Ó¦ÓÃÈí¼þ¹Ì»¯¼¼Êõ£¬¿ª·¢ÊʺÏÖÇÄÜ»¯¡¢ÍøÂ绯´«¸ÐÆ÷ºÍÒDZíµÄÐźű任¡¢²¹³¥¡¢ÏßÐÔ»¯¡¢Í¨Ñ¶¡¢ÍøÂç½Ó¿ÚµÈרÓõç·¡£
- ¡¾ÖйúũҵÒÇÆ÷Íø¡¿ÉùÃ÷²¿·ÖÎÄÕÂ×ªÔØ×ÔÆäËüýÌå£¬×ªÔØÄ¿µÄÔÚÓÚ´«µÝ¸ü¶àÐÅÏ¢£¬²¢²»´ú±í±¾ÍøÔÞͬÆä¹ÛµãºÍ¶ÔÆäÕæÊµÐÔ¸ºÔð£¬ÇÒ²»³Ðµ£´ËÀà×÷Æ·ÇÖȨÐÐΪµÄÖ±½ÓÔðÈμ°Á¬´øÔðÈΡ£ÈçÉæ¼°×÷Æ·ÄÚÈÝ¡¢°æÈ¨ºÍÆäËüÎÊÌ⣬ÇëÔÚ30ÈÕÄÚÓë±¾ÍøÁªÏµ¡£
- ÉÏһƪ£ºÒÇÆ÷ÒDZíÒµ£º2010ÄêÖÆÔìÒµ°ÙÐÐ..
- ÏÂһƪ£ºÈ«¹úÖʼìϵͳȷ¶¨Ô®½®¹¤×÷Ä¿±ê¼°ÖØ..

ÍÆ¼öÒÇÆ÷

×î½ü¸üÐÂÒÇÆ÷

Ïà¹ØÐÐÒµ¶¯Ì¬
- ¡¤ È«¹úÖʼìϵͳȷ¶¨Ô®½®¹¤×÷Ä¿±ê¼°Öصã
- ¡¤ ũҵ²¿½«¿ªÕ¹È«¹úÉúÏÊÈéÊÕ¹ºÕ¾ÀÍøÊ½¼ì²é
- ¡¤ 2010Äê¡°Á½¿¯¡±Í¨Áª¹¤×÷»áÒéÔÚº¼ÖÝÂ¡ÖØÕÙ¿ª
- ¡¤ ¹ØÓÚÒÇÆ÷ÒÇ±íÆ·ÅÆµÄÊг¡Íƹã³É¹¦ÂÊ
- ¡¤ ÏÖ´úÒÇÆ÷ÒDZíÖØ´ó¹Ø¼ü¹²ÐÔ¼¼Êõ·¢Õ¹Õ½ÂÔ·ÖÎö
- ¡¤ »·¾³±£»¤²¿¼Æ»®½¨Á¢¼à²âÕ¾ ´Ù½ø»·±£ÒÇÆ÷ÒÇ±í·¢Õ¹
- ¡¤ ÒÇÆ÷ÒDZíÐÐÒµ·¢Õ¹µÄ¡°Îå±×¡±Ç³Îö
- ¡¤ ÄþÏÄÅ©×Ê´ò¼ÙÐж¯ ÉèʩũҵÓ÷ÊÎÊÌâ½Ï¶à